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| 产品特性：测量精度准 | 是否进口：否 | 产地：匈牙利 |
| 加工定制：是 | 品牌：布鲁克斯 | 型号：GF100 |
| 类型：质量流量计 | 测量范围：1m3/h | 精度等级：1 |
| 公称通径：齐全mm | 适用介质：气体 | 工作压力：30MPa |
| 工作温度：65℃ | 规格：齐全 |
针对半导体工艺的***性能
嵌入式诊断利用实时以太网数据采集能力
超稳定流量传感器（每年≤设定值0.15%的漂移）使低流量更精准，同时减少维修的需求
改进的阀门关闭（≤bin范围的0.15%）减少阀门内漏，从而改善***片晶圆效应
新增强的抗压力瞬时波动在持续流体传输中降低了串扰流敏感度
特点
每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性
响应稳定时间: 300毫秒 -<1秒
流量可达到300 slpm
全金属密封的流体通路：可选5? 或 10? inch Ra的表面粗糙度
抗腐蚀的哈氏合金升温传感器在温度升高时改善了测量的重复性
MultiFloTM 气体和量程的可编程性—一台表，几千种气体和量程的组合，无需把MFC从管路上拆除，也不会影响精度
方便的用户显示和独立的诊断/服务端口可帮助仪表安装，监测和故障排查
GF120 安全传输系统(SDS?)是布鲁克斯进的低压降质量流量控制计，用于离子注入和刻蚀工艺的负压安全传输系统的气体传输
优势
超常的性能
快速反应时间改进应用效率
灵活的拓扑
几乎***的网络拓扑可能
简单、坚固
配置，诊断以及维护
负担能力
标准的以太网端口
应用
半导体刻蚀设备
薄膜化学气相沉积系统 (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
物***相沉积 (PVD) 系统
外延工艺系统
