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| 产品特性：测量精度准 | 是否进口：否 | 产地：匈牙利 |
| 加工定制：是 | 品牌：布鲁克斯 | 型号：SLA5853 |
| 类型：质量流量计 | 测量范围：1m3/h | 精度等级：1 |
| 公称通径：齐全mm | 适用介质：气体 | 工作压力：30MPa |
| 工作温度：50℃ | 规格：齐全 |
流量范围 相当于0－3 sccm到0－30 sccm氮气（N2）的范围
性能：校准后为满量程±1％，大于20slpm时为满量程±1.5％。
可重复性：0.25％ 控制范围：50：1 安装状态灵感度：复零后，比*****度误差不到±0.5％量程。
温度敏感度：零点：小于±0.075％量程每摄氏度
